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高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ

高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ

・優れた耐熱性・耐腐食性・耐久性を有したバルブです。
・使用時のCv値変動率が少なく 安定した再現性のあるガス流量のため、蒸気圧が低い材料を使用できます。
・耐熱性のあるバルブハンドルのため、ハンドルを付けたまま恒温槽を使用できます。

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