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このようなお困りごとはありませんか？
・CVD装置のプラズマや高温排気、腐食性ガスの影響で連結部に使用しているセンターリングが劣化してしまう。
・高価なセンターリングを使用しているため、交換時などのランニングコストが高い。
・真空設備の各連結部に使用しているセンターリングが劣化し、臭いの原因となるガスが漏れ出てしまう。

上記のような状況に対するソリューション事例をご紹介します。