株式会社キッツエスシーティー

　株式会社キッツエスシーティーは、米国Ｉｃｈｏｒ Ｓｙｓｔｅｍｓ Ｉｎｃ．（以下Ｉｃｈｏｒ社、本社：米国カリフォルニア州フリーモント）と同社が製造・販売している集積液体供給システム（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｍａｎｉｆｏｌｄ Ｓｙｓｔｅｍ：以下ＩＭＳ）の日本国内における総代理店契約を締結し、２０１９年１２月より販売を開始することになりましたのでお知らせいたします。

　なお、２０１９年１２月１１日～１３日に東京ビッグサイトで開催されるＳＥＭＩＣＯＮ ＪＡＰＡＮ ２０１９に同製品を出品いたします。（ブースＮｏ．７９１３）

Ｉｃｈｏｒ社製ＩＭＳの概要

Ｉｃｈｏｒ社は、ガスおよび化学薬品供給システムの半導体ウェーハ製造装置業界における世界最大のアウトソースプロバイダーです。複雑な組立アセンブリ、精密機械加工、ライセンス契約によるレガシーサービスなど、多岐に渡る事業を展開しています。

　この度、日本で販売を開始するＩＭＳは、Ｉｃｈｏｒ社が半導体製造プロセス用の集積ガス供給システムで開発した業界標準のコンポーネント接続技術を基盤とし、液体プロセス向けに新たに特許を取得したシール構造の接続方法を採用した集積液体供給システムです。この接続方法は、コンポーネント間を繋ぐチューブが不要であり、従来の接続方法に比べてフットプリントを大幅に縮小することが可能となります。また、コンパクト化することにより薬液の流路長も短くなることから、高純度薬液の品質維持にも効果があります。さらに、搭載するコンポーネント（バルブ、流量計、圧力計、流量コントローラー等）は、標準化された寸法で製作されており、レイアウト設計も容易なシステムとなっています。

Ｉｃｈｏｒ社の概要

会社名

Ichor Systems Inc.

URL

ホームページはこちら

本社所在地

3185 LaurelviewCt, Fremont, CA 94538

設立

1996年

資本金

228.4百万ドル

代表者

Tom Rohrs / CEO

従業員数

約1,500名

事業内容

半導体ガス供給システム及びコンポーネントの受託製造、半導体薬液供給システム受託製造、医療機器産業・航空宇宙産業及び一般産業向け機械加工部品受託製造