注目製品

IMSは、フットプリントの大幅な削減を可能にする最新鋭のWetプロセス向け集積液体供給システムです

IMSは、エッチング及び成膜プロセスで長年に渡る実績に証明されたK1S集積ガス供給システムをWetプロセスに展開したものです

IMSは、Wetプロセス用に新たに開発した（特許出願中）シール機構と接続方法を採用。 耐薬品性に優れた接液材料を使用しており、高純度液体の供給やミキシングに適したシステムです

機器類の種類別に標準化された寸法と接続方式により、各機器類の互換性を保証します

部品の交換が簡単・迅速に可能、メンテナンス時間を削減できます

機器類の取付方法の標準化により組立時間を短縮できます

部品点数が少なく組立作業が容易です

チューブの接続部やブラケットを取り外すことなく、簡単に部品を交換することが可能です

部品交換時における損傷の可能性を最小限に抑えることが可能です

部品交換時の作業時間を大幅に短縮出来ます