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半導体製造工程に使用されるCVD/ALDプロセス用に開発された設定温度最大190℃、300万回耐久、高速開閉機能を備えた封止・スロー排気・調圧 ３つの機能を有した高機能APCバルブです。
新開発のシートリング機構
新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられた O-RING のねじれや脱落の問題を解消します。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、反応室を汚染しにくい構造です。
①表示器
②電源コード
③インターフェース通信
④サービス
⑤センサー入力
⑥マイクロコネクタ端子
通信形式によってインターフェースが変わります。
この写真はDevicenetTMです。
