--- title: 高純度ガス系製品｜注目製品｜製品情報｜株式会社キッツエスシーティー description: 株式会社キッツエスシーティーの注目製品の「高純度ガス系製品」ページです。キッツエスシーティーでは、バルブ総合メーカー「キッツグループ」の一員として、半導体プロセス用バルブをはじめとする流体制御機器、装置の開発、製造、販売、サービスを一貫体制で提供しております。 image: https://www.kitzsct.com/hubfs/assets/images/ogp.jpg --- 製品検索 継手 WET系バルブ 真空排気系バルブ ダイヤフラムバルブ ベローズバルブ チェックバルブ クリーンバタフライバルブ [ 製品型式検索 ](https://www.kitzsct.com/products/search/model) 各種ダウンロード - [![製品カタログ](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_01_catalog.svg) 製品カタログ ](https://www.kitzsct.com/document) - [![CAD/図面](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_02_cad.svg) CAD/図面 ](https://www.kitzsct.com/document/cad_drawing_others) - [![ホワイトペーパー](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_03_paper.svg) プロセス改善 事例集 ](https://www.kitzsct.com/document/whitepaper) - [![技術資料](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_04_technology.svg) 製品説明 3D動画 ](https://www.kitzsct.com/document/products_movie) ## 高純度ガス系製品 - [低圧ダイヤフラムバルブ](https://www.kitzsct.com/products/highlight/14#anchor01) - [高圧ダイヤフラムバルブ](https://www.kitzsct.com/products/highlight/14#anchor02) - [低圧ゼロボリュームバルブ](https://www.kitzsct.com/products/highlight/14#anchor03) - [低圧汎用ダイヤフラムバルブ](https://www.kitzsct.com/products/highlight/14#anchor04) - [メカニカル式メタルガスケット面シール継手](https://www.kitzsct.com/products/highlight/14#anchor05) - [自動溶接継手](https://www.kitzsct.com/products/highlight/14#anchor06) ## 低圧ダイヤフラムバルブ　KDシリーズ ![KDシリーズ](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_001.png) ＫＤシリーズは、コンパクトなデザインのダイヤフラムバルブです。 高いＣｖ値を実現し、半導体高純度ガスに対応。高耐久・高耐食性能を両立させた信頼性の高いバルブです。 ### 特長 - ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を小さくすることで優れたガス置換特性を実現 - 独自の接ガス部シール構造により高シール性、高耐久化、脱ガス性能、耐食性能を実現 - 厳選されたダイヤフラム素材により高耐食性能と、独自成形法により個体差を最小限化 - クリーンな製造環境と内面処理研磨によりパーティクル性能を極限まで追求 ### 主な仕様 ![img_14_002](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_002.png) 詳細は製品カタログでご確認ください。以下のボタンからもご覧いただけます。 [製品カタログはこちら ](https://www.kitzsct.com/hubfs/20800877/pdf/general_catalog.pdf#page=12) ## 高圧ダイヤフラムバルブ　NRDシリーズ ![NRDシリーズ](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_003.png) ＮＲＤシリーズは、高圧（20.6MPa）に対応するバルブです。 スリムでコンパクトなデザインながら少流量から大流量タイプまでの幅広い流量レンジをラインナップしました。 ### 特長 - 新型高出力アクチュエーターと内ネジボディ構造を採用しシンプルでコンパクトなデザイン - ハイフロータイプをラインナップ サイズ 1/4”の「NRHD４」は外径39.7mmのスリムアクチュエータでCv 0.25を実現 サイズ 1/2”の「NRHD８」はCv 1.0の大流量、手動弁はハンドル操作の低トルク化を実現 - スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減 ### 主な仕様 ![仕様表](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_004.png) 詳細は製品カタログでご確認ください。以下のボタンからもご覧いただけます。 [製品カタログはこちら ](https://www.kitzsct.com/hubfs/pdf/catalog/NRD_J.pdf) ## 低圧ゼロボリュームバルブ　ZCDシリーズ ![ZCDシリーズ](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_005.png) ＺＣＤシリーズは、バルブ内デッドボリューム(※A部)を極限まで小さくし、ガス置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。 ### 特長 - バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュームを最小化し、極めて良好なガス置換特性を実現 当社1/4" KD型の８６％削減 - リフト部のダイヤフラムの強制リフトにより真空閉鎖防止、オープン速度向上 - リプレイサブル構造によりシートアッセンブリはユーザーサイドで交換可能 ![グラフと用途例](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_006.png) ### 主な仕様 ![img_14_007_1](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_007_1.png) 詳細は製品カタログでご確認ください。以下のボタンからもご覧いただけます。 [製品カタログはこちら ](https://www.kitzsct.com/hubfs/20800877/pdf/general_catalog.pdf#page=26) ## 低圧汎用ダイヤフラムバルブ　VLDシリーズ ![VLDシリーズ](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_008.png) ＶＬＤシリーズは、弊社「KD」シリーズをベースとし、使いやすさ、シンプルさを追求した汎用ダイヤフラムバルブです。駆動部品数の最小化、単純化を実現しました。 ### 特長 - 「KD」シリーズの基本性能や素材、洗浄度をそのままに部品見直しや加工方法の変更及び部品数を削減し安全かつ低プライスを実現 - 従来モデルと同等の洗浄工程及び検査工程により従来モデル同等の信頼性、耐久性能を実現 - 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により半導体高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追求 ### 主な仕様 ![img_14_009_1](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_009_1.png) 詳細は製品カタログでご確認ください。以下のボタンからもご覧いただけます。 [製品カタログはこちら ](https://www.kitzsct.com/hubfs/20800877/pdf/general_catalog.pdf#page=26) ## メカニカル式メタルガスケット面シール継手　CVCシリーズ ![CVCシリーズ](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_010.png) ＣＶＣシリーズは、弊社独自の電解研磨による表面処理、クリーンルーム内での検査・梱包を行った高純度ガス系配管にお使い頂けるメカニカル式メタルガスケット面シール継手です。 ### 特長 #### 構成部品 ![img_14_011](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_011.png) - メスナット(NF)：メスネジに銀メッキ処理しカジリ焼付防止、締め付けが確実に実施 - スリーブ(S)：弊社独自の電解研磨等による滑らかな内面仕上げ - ガスケット(G)：ニッケル製が標準品で締め付けによるスリーブとの高いシール性を実現 - オスナット(NM)：転造ネジ採用で高い強度を持ち接続を確実に実施 ### 主な仕様 ### 製品コード表 ![img_14_012](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_012.png) 詳細は製品カタログでご確認ください。以下のボタンからもご覧いただけます。 [製品カタログはこちら ](https://www.kitzsct.com/hubfs/20800877/pdf/general_catalog.pdf#page=56) ## 自動溶接継手　SCM/SCLシリーズ、SCFシリーズ ![SCM/SCLシリーズ、SCFシリーズ](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_013.png) SCM/SCLシリーズ、SCFシリーズは半導体製造プロセスの高純度化・高信頼性に不可欠な優れた特徴を有する高品質な自動溶接用継手です。 ### 特長 - 素材には優れた溶接性を可能とする調質されたステンレス材を採用 - 高純度ガス系配管用途に当社独自技術の電解研磨をオプション設定可能 - クリーンルーム内での洗浄、検査、梱包により製品の洗浄度を確保 - 自動溶接に適したネック(直管部)付のため、高品質の溶接が簡単に ### 主な仕様 #### SCM/SCLシリーズ　製品コード表 ![img_14_014](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_014.png) #### SCFシリーズ　製品コード表 ![img_14_015](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/14/img_14_015.png) 詳細は製品カタログでご確認ください。以下のボタンからもご覧いただけます。 [製品カタログはこちら ](https://www.kitzsct.com/hubfs/20800877/pdf/general_catalog.pdf#page=65) [![CONTACT製品全般に関するお問い合わせ キッツエスシーティーでは、お客様の目的に合った様々な製品を取り揃えております。 まずは、お気軽にお問い合わせください。 お問い合わせはこちら](https://no-cache.hubspot.com/cta/default/20800877/84460cc4-89c9-4ab7-b049-8413d8910994.png)](https://cta-redirect.hubspot.com/cta/redirect/20800877/84460cc4-89c9-4ab7-b049-8413d8910994) ## お電話でのお問い合わせ ### TEL: 03-6404-2171 受付時間：9:00～12:00、13:00～18:00 土/日/祝・年末年始・当社休業日を除く