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IVBH40CA-NWF

L型真空ベローズホットバルブは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒータを内蔵し、弁体及びベローズを加熱できる真空バルブです。ベローズの内部から加熱することによりコールドスポットをなくし、生成物付着を少なくすることを可能にしました。

従来他社品では不可能であったバルブ内部からの加熱が可能な構造です。その為、反応副生成物の付着を劇的に減少しますので、メンテナンス期間の大幅な延長とパーティクルの逆拡散を防止します。
ベローズ内部のヒータ(特許)と、外部ヒータの温度を個々に設定できます。
内部ヒータは、弁体と一体で作動可能な構造になっており弁開・弁閉状態でも弁体とベローズを同時に加熱できます。
メタルエッチング、CVD、ALDなどのプロセスに最適です。
「ISO-KF」「JIS-VF」「コンフラット回転フランジ」「ISO-MF」などの各種フランジに対応可能です。
ヒータ及び熱電対のコードに接続コネクタを取り付けることも可能です。

最高加熱温度
コントローラ設定180℃
温度制御方式
K種熱電対使用の温度コントローラによる
使用圧力
1×10-6〜2×105Pa（abs.)　【0.1MPa】
標準材質
ボディ　　SUS304 ベローズ　SUS316L アクチュエータ　A6063 Oリング　FKM ※表記以外の材質にも対応致します。お問合せ下さい。
操作圧力
0.4〜0.7MPa（G)
検査リーク量
内部リーク　1×10-10Pa・m3/sec以下 外部リーク　1×10-10Pa・m3/sec以下
使用電圧
AC100V

ソフト排気機能(オプション)

・スロー排気ラインがメインバルブと一体構造となり、省スペース化および排気ラインの低コスト化が可能です。
・バイパスバルブもメインバルブのボディヒータと同時にヒーティングできます。
・バイパスラインは流量固定タイプ、流量可変タイプからお選びいただけます。