--- title: L型真空ベローズホットバルブ｜注目製品｜製品情報｜株式会社キッツエスシーティー description: 株式会社キッツエスシーティーの注目製品の「L型真空ベローズホットバルブ」ページです。キッツエスシーティーでは、バルブ総合メーカー「キッツグループ」の一員として、半導体プロセス用バルブをはじめとする流体制御機器、装置の開発、製造、販売、サービスを一貫体制で提供しております。 image: https://www.kitzsct.com/hubfs/assets/images/ogp.jpg --- 製品検索 継手 WET系バルブ 真空排気系バルブ ダイヤフラムバルブ ベローズバルブ チェックバルブ クリーンバタフライバルブ [ 製品型式検索 ](https://www.kitzsct.com/products/search/model) 各種ダウンロード - [![製品カタログ](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_01_catalog.svg) 製品カタログ ](https://www.kitzsct.com/document) - [![CAD/図面](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_02_cad.svg) CAD/図面 ](https://www.kitzsct.com/document/cad_drawing_others) - [![ホワイトペーパー](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_03_paper.svg) プロセス改善 事例集 ](https://www.kitzsct.com/document/whitepaper) - [![技術資料](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_04_technology.svg) 製品説明 3D動画 ](https://www.kitzsct.com/document/products_movie) ## L型真空ベローズホットバルブ ![IVBH40CA-NWF](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/search/thumbnail/IVBH40CA-NWF.jpg) L型真空ベローズホットバルブは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒータを内蔵し、弁体及びベローズを加熱できる真空バルブです。ベローズの内部から加熱することによりコールドスポットをなくし、生成物付着を少なくすることを可能にしました。 ## 特長 - 従来他社品では不可能であったバルブ内部からの加熱が 可能な構造です。その為、反応副生成物の付着を劇的に減少しますので、メンテナンス期間の大幅な延長とパーティクルの逆拡散を防止します。 - ベローズ内部のヒータ(特許)と、外部ヒータの温度を個々に設定できます。 - 内部ヒータは、弁体と一体で作動可能な構造になっており弁開・弁閉状態でも弁体とベローズを同時に加熱できます。 - メタルエッチング、CVD、ALDなどのプロセスに最適です。 - 「ISO-KF」「JIS-VF」「コンフラット回転フランジ」「ISO-MF」などの各種フランジに対応可能です。 - ヒータ及び熱電対のコードに接続コネクタを取り付けることも可能です。 ## 主な仕様 最高加熱温度 コントローラ設定180℃ 温度制御方式 K種熱電対使用の温度コントローラによる 使用圧力 1×10-6〜2×105Pa（abs.)　【0.1MPa】 標準材質 ボディ　　SUS304 ベローズ　SUS316L アクチュエータ　A6063 Oリング　FKM ※表記以外の材質にも対応致します。お問合せ下さい。 操作圧力 0.4〜0.7MPa（G) 検査リーク量 内部リーク　1×10-10Pa・m3/sec以下 外部リーク　1×10-10Pa・m3/sec以下 使用電圧 AC100V ## ソフト排気機能(オプション) ![ソフト排気機能(オプション)](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/2/img_2_002.jpg) ・スロー排気ラインがメインバルブと一体構造となり、省スペース化および排気ラインの低コスト化が可能です。 ・バイパスバルブもメインバルブのボディヒータと同時にヒーティングできます。 ・バイパスラインは流量固定タイプ、流量可変タイプからお選びいただけます。 ![ソフト排気機能](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/2/img_2_003.gif) [![CONTACT製品全般に関するお問い合わせ キッツエスシーティーでは、お客様の目的に合った様々な製品を取り揃えております。 まずは、お気軽にお問い合わせください。 お問い合わせはこちら](https://no-cache.hubspot.com/cta/default/20800877/84460cc4-89c9-4ab7-b049-8413d8910994.png)](https://cta-redirect.hubspot.com/cta/redirect/20800877/84460cc4-89c9-4ab7-b049-8413d8910994) ## お電話でのお問い合わせ ### TEL: 03-6404-2171 受付時間：9:00～12:00、13:00～18:00 土/日/祝・年末年始・当社休業日を除く