--- title: 汎用角型ゲートバルブ｜注目製品｜製品情報｜株式会社キッツエスシーティー description: 株式会社キッツエスシーティーの注目製品の「汎用角型ゲートバルブ」ページです。キッツエスシーティーでは、バルブ総合メーカー「キッツグループ」の一員として、半導体プロセス用バルブをはじめとする流体制御機器、装置の開発、製造、販売、サービスを一貫体制で提供しております。 image: https://www.kitzsct.com/hubfs/assets/images/ogp.jpg --- 製品検索 継手 WET系バルブ 真空排気系バルブ ダイヤフラムバルブ ベローズバルブ チェックバルブ クリーンバタフライバルブ [ 製品型式検索 ](https://www.kitzsct.com/products/search/model) 各種ダウンロード - [![製品カタログ](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_01_catalog.svg) 製品カタログ ](https://www.kitzsct.com/document) - [![CAD/図面](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_02_cad.svg) CAD/図面 ](https://www.kitzsct.com/document/cad_drawing_others) - [![ホワイトペーパー](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_03_paper.svg) プロセス改善 事例集 ](https://www.kitzsct.com/document/whitepaper) - [![技術資料](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/home/icon_04_technology.svg) 製品説明 3D動画 ](https://www.kitzsct.com/document/products_movie) ## 汎用角型ゲートバルブ ![汎用角型ゲートバルブ【D-3】](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/5/img_5_001.png) SEMI E21.1-1296 規格準拠　300mmウエハ用角型真空ゲートバルブは新たな無摺動機構を採用することで低パーティクル化を実現した信頼性の高いバルブです。 ## 特長 ### 低パーティクル化を実現 新たな無摺動機構を採用しバルブ開閉作動時のパーティクル発生要因を最小限にしました。 ### シール部の信頼性向上 - ボンデッドシールタイプ（Oリング接着タイプ）をオプション設定。 - Oリングの脱落を防止し安定したシール性能を保ちパーティクル低減効果も向上します。 ![img_5_002](https://www.kitzsct.com/hubfs/images/products/highlight/5/img_5_002.png) ## 主な仕様 ゲートサイズ 50mm×336mm 使用圧力 1×10-8 Pa~0.1MPa 最高使用温度 ボディ　120℃ 環境　　80℃（常温仕様） 外部ヒーター設定最高温度 180℃　※外部ヒーターはオプション 操作方式 複作動 作動耐久回数 300万回 詳細は当社営業にお問い合わせください。以下のボタンからお問い合わせいただけます。 [![CONTACT製品全般に関するお問い合わせ キッツエスシーティーでは、お客様の目的に合った様々な製品を取り揃えております。 まずは、お気軽にお問い合わせください。 お問い合わせはこちら](https://no-cache.hubspot.com/cta/default/20800877/84460cc4-89c9-4ab7-b049-8413d8910994.png)](https://cta-redirect.hubspot.com/cta/redirect/20800877/84460cc4-89c9-4ab7-b049-8413d8910994) ## お電話でのお問い合わせ ### TEL: 03-6404-2171 受付時間：9:00～12:00、13:00～18:00 土/日/祝・年末年始・当社休業日を除く