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汎用角型ゲートバルブ

汎用角型ゲートバルブ【D-3】

SEMI E21.1-1296 規格準拠　300mmウエハ用角型真空ゲートバルブは新たな無摺動機構を採用することで低パーティクル化を実現した信頼性の高いバルブです。

特長

低パーティクル化を実現

新たな無摺動機構を採用しバルブ開閉作動時のパーティクル発生要因を最小限にしました。

シール部の信頼性向上

  • ボンデッドシールタイプ（Oリング接着タイプ）をオプション設定。

  • Oリングの脱落を防止し安定したシール性能を保ちパーティクル低減効果も向上します。

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主な仕様

ゲートサイズ

50mm×336mm

使用圧力

1×10-8 Pa~0.1MPa

最高使用温度

ボディ　120℃
環境　　80℃（常温仕様）

外部ヒーター設定最高温度

180℃　※外部ヒーターはオプション

操作方式

複作動

作動耐久回数

300万回

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