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排気ブロックバルブ（ブランチモジュール）は、成膜装置等真空排気系のVENT用などに使用される1/4″・1/2″サイズのバルブを集積化することで省スペース化やメンテナンス性の向上、さらにボルトオンヒーターによる安定したヒーティング機構により副生成物の堆積を抑制して装置のダウンタイムを軽減することが可能な製品です。
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排気ブロックバルブ（ブランチモジュール）は、成膜装置等真空排気系のVENT用などに使用される1/4″・1/2″サイズのバルブを集積化することで省スペース化やメンテナンス性の向上、さらにボルトオンヒーターによる安定したヒーティング機構により副生成物の堆積を抑制して装置のダウンタイムを軽減することが可能な製品です。