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TDFシリーズは、ALD（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた、高純度ガス対応のバルブです。
SCVサブマージブルバルブ® TD-Sシリーズは、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な集積化ガスシステム対応のバルブです。流量の再現性が求められるALD（原子層堆積）プロセスのプリカーサ（前駆体）供給に適しています。
SCVサブマージブルバルブ® KD-Sシリーズは、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能なバルブです。流量の再現性が求められるALD（原子層堆積）プロセスのプリカーサ（前駆体）供給に適しています。
ZCD8Kシリーズは、次世代メモリ用材料容器弁向けに高温化の要求に答え、独自の技術を取り入れ250℃の高温流体に適合可能なシート交換可能なバルブです。低蒸気圧固体材料を使用するALD（原子層堆積）プロセスのプリカーサ（前駆体）供給に適しています。
