TDF 高速高耐久ダイヤフラムバルブ
製品概要
ALDプロセスに必要な高速応答、高耐久、耐熱性、Cv安定性を有したダイヤフラムバルブです
参考型式：TDF8CS-GA-EP-316L
仕様概略
- 弁形状
-
2方弁ストレート
- サイズ
-
1.5"
- 接続方式
-
C-Seal
- Cv （200℃時）
-
0.5
- 最低使用流体温度（℃）
-
80
- 最高使用流体温度（℃）
-
220
- 最低環境温度 (℃)
-
20
- 最高環境温度 (℃)
-
130
- 使用最高圧力 (MPa)
-
0.7
- 駆動方式
-
NC
- シート材質
-
PFA
- グレード STD：機械研磨 EP：電解研磨
-
EP
- ボディ材質
-
316L
- センサー
-
N/A
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主要型式 図面ダウンロード
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| 主要型式 | CAD | STEP | サイズ | 接続方式 | 最高使用流体温度（℃） | 最高環境温度 (℃) | 駆動方式 | シート材質 | グレード STD：機械研磨 EP：電解研磨 | 分流フロー | ハンドル | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TDF8CS-GA-EP-316L | CAD | - | 1.5" | C-Seal | 220 | 130 | NC | PFA | EP | - | - | |
| TDF8CS-GA-S-EP-316L | - | - | - | 1.5" | C-Seal | 220 | 70 | NC | PFA | EP | - | - |
| TDF8CS-GA-SEP-316LE | CAD | - | 1.5" | C-Seal | 220 | 130 | NC | PFA | SEP | - | - | |
| TDF8CS-GA-S-SEP-316LE | - | - | - | 1.5" | C-Seal | 220 | 70 | NC | PFA | SEP | - | - |