真空排気系バルブ
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- 駆動方式
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弁形状
モノブロックやL型などの特殊形状での対応が可能です。詳細につきましてはお問合せ下さい。
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弁形状
モノブロックやL型などの特殊形状での対応が可能です。詳細につきましてはお問合せ下さい。
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- バルブ機能
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検索結果
計2件の製品が見つかりました。

PCVA APCバタフライバルブ
AUTO PID機能により「圧力制御」「目標変更」「流量変動」「外乱影響」「位置ずれ検出」の制御が可能

PCA APCバタフライバルブ
1台でバルブ全閉・全開・スロー排気・調圧が可能なオートプレッシャーコントロールバルブです シートリングとフラッパーの特殊複合動作により低真空から高真空まで優れた圧力調整が可能です