真空排気系バルブ

製品区分

製品区分の詳細条件
製品種別
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駆動方式
弁形状

モノブロックやL型などの特殊形状での対応が可能です。詳細につきましてはお問合せ下さい。

弁形状

モノブロックやL型などの特殊形状での対応が可能です。詳細につきましてはお問合せ下さい。

バルブ機能

検索結果

計3件の製品が見つかりました。

IVB_V L型真空ベローズバルブ ソフト排気機能付

メインバルブとバイパスバルブが一体となった真空ベローズバルブです 大気から真空に排気する場合に起こる急激な圧力変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により圧力をコントロールをします バイパスバルブには流量固定タイプと流量調整タイプの2種類を用意しています

IVB L型真空ベローズバルブ 自動

耐久性、耐食性を実現したL型真空ベローズバルブです

IVBH L型真空ベローズホットバルブ 自動

ベローズ内部にスパイラルヒーターを搭載し、弁開・弁閉状態でもベローズを加熱できる真空バルブです 本バルブは外部ヒーターだけでなく、ベローズの内部から加熱することによりコールドスポットをなくし、生成物付着を極力少なくすることを可能にしました